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颠覆性的技术革新，致轻、致小，**实现了嵌入组装在半导体制造等装置中
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2.83L/min，同时测试0.1、0.3μm微小粒子
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4.3英寸彩色触摸显示屏
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可使用附带软件在PC上显示测试数据
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设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口
Kanomax 超小型粒子计数器3950-00
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品 名 |
尘埃粒子计数器 |
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型 号 |
3950-00 |
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粒子测量 |
测试方法 |
光散射法 |
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粒径通道 |
2粒径（0.1、0.3μm） |
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额定流量 |
0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4) |
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测量时间 |
6秒~99分59秒（1次测量时间） |
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间隔时间 |
6秒~99分59秒（测量周期） |
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采样次数 |
1~999次 或 连续测试 |
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地点设定 |
99个地点 |
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测量方式 |
重复、单次、连续、计算 |
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测量数据显示时间 |
1~10秒 |
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测量数据显示 |
累计值∑ 差分值△及柱形图 |
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*大可测浓度 |
10,000,000个/m³ |
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计数效率 |
50±20%（相对于*小可测粒径附近的PSL粒子） |
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伪 计 数 |
<1个/35min |
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粒径分辨率 |
15%以下（相对0.3μm的PSL粒子） |
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气 源 |
内置泵 |
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显示器 |
4.3英寸彩色液晶 触摸屏 |
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通迅功能 |
本 体 |
USB（Host用于打印机、USB存储；Device用于与PC链接） |
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数据存储 |
媒 体 |
内存 |
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数量、格式 |
*大10,000个、CSV格式 |
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显示语言 |
英文、日语 |
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电 源 |
AC100~240V |
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使用环境 |
本 体 |
15~35℃、0~85%RH （无结露） |
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外形尺寸 |
W150 X H163 X D228 mm |
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重 量 |
3.4kg |
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