产品详情
  • 产品名称:TGV玻璃基板测量仪

  • 产品型号:NH-500D
  • 产品厂商:德美威
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简单介绍:
TGV基板做为下一代先进芯片封装的核心载体,玻璃基板玻璃通孔的精度要求比较高,运用德美威NH-500D测量显微镜,可移动式机台,增加气浮平台,稳定性好,测量精度重复性高,成像清晰。
详情介绍:

可根据客户产品非标定制,图片仅供参考,出于改良改善的目的,产品不定期更新。


显微镜光学系统

l 物镜类型:平场半复消色差物镜

l 物镜参数:

MPlanFL2X WD=13.0mm,NA=0.08

MPlanFL5XBD WD=13.5mm,NA=0.15

MPlanFL10XBD WD=9.0mm,NA=0.30

LMPlanFL20XBD WD=8.5mm,NA=0.40

LMPlanFL50XBD WD=7.5mm,NA=0.55

l 光源灯箱:5W白光LED灯

l 照明方式:反射光,科勒照明;

l 观察方法:反射明场、暗场

l 照明器:带可变视场光阑和孔径光阑,中心可调;带明暗场切换装置;带滤色片插槽;带起偏镜和检偏镜插槽。

单口成像镜筒:带CTV接口

物镜转盘:5孔电动物镜转盘,含控制器。

载物台

l 移动行程:X轴550*Y轴550mm

l 台面尺寸:750*720mm

l 传动方式:手动,可快速移动和精密移动。

l 高精密交叉滚子导轨:稳定性高,耐磨能力强。

载物台承重:15Kg

Z调焦机构

Z轴调焦行程:100mm

l 传动方式:电机驱动手迈调焦,采用司服电机。

调焦速度:低、中、高速3档

l Z轴下移*低限位:电子传感器限位,位置可调。

显微镜机架

l 大理石底座尺寸*宽*高:1175*750*805mm

l 电脑桌:不锈钢材质

被动式充气隔振装置4

仪器外形尺寸长*宽*高:1303*1682*1482mm

仪器重量:500Kg

USB3.0高速数字相机

l 630万有效像素

l 1/1.8"CMOS芯片,单个像素面积2.4X2.4um。

l 高灵敏度,满像素预览30帧

l 高速USB3.0数据传输;

l 标准C-mount视频接口。


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